На разработку отечественных аналогов Минпромторг выделил 5,7 млрд рублей
На разработку отечественных аналогов Минпромторг выделил 5,7 млрд рублей
Наука и технологии
Московские инженеры приступили к разработке отечественных литографических сканеров
На разработку отечественных аналогов Минпромторг выделил 5,7 млрд рублей
Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) приступил к проектным работам по разработке литографических сканеров. Проект реализуется по заказу Минпромторга, который в конце 2021 года выделил на разработку 5,7 млрд рублей.
Всего Центр заключил с Минпромторгом два контракта: один на разработку сканеров с уровнем топологии до 350 нм, второй — до 130 нм. Планируется, что отечественные фотолитографы полностью заменят собой импортные аналоги, используемые сейчас на зеленоградских фабриках.
Освоение серийного производства фотолитографов на 350 нм ожидается в 2025 году. Для установки будет взят готовый полупроводниковый лазер отечественного производства. Не исключено, что в будущем для этого могут быть также использованы лазеры зеленоградских компаний. Согласно контракту, проект сканера и его опытный образец должны быть готовы к концу 2024 года, включая всю документацию для запуска серийного производства установки.
Из конкурсной документации следует, что 350-нм сканер будет представлять собой 3,5-тонную установку размерами 2 × 2,6 × 2,5 м с управляющим комплексом габаритами 2 × 0,8 × 1,6 м. Установка ориентирована на обработку 150- и 200-мм кремниевых подложек.
Разработка 130-нм сканера завершится примерно на год позже. Для этого сканера будет с нуля создаваться отечественный 193-нм лазер, чтобы уйти от импортных комплектующих, в частности, от лазеров американской компании Cyber, которые сегодня широко используются на российских полупроводниковых заводах. По этой причине завершение проекта 130-нм сканера затянется на чуть большее время.
