Министерство промышленности и торговли России намерено инвестировать 5,7 млрд рублей в разработку оборудования, на котором в дальнейшем будут печатать чипы на кремниевых пластинах, топология – 130-65 нм.

Данное оборудование будут задействовать при печатании чипов для автомобильной электроники, кассовых устройств и интернета вещей. Чтобы печатать чипы на кремниевых пластинах, специалисты должны разработать оборудование фотолитографического класса. Конкурс Минпромторга на разработку подобного агрегата уже удалось выиграть АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ), предприятие получит от кабмина средства в объеме 5,7 млрд рублей.

В тендерной документации по данному проекту отмечается, что будущая установка должна включать в себя несколько компонентов. Среди них – оригинальное оптическое устройство для распечатывания чипов, загруженная система фотошаблонов, комплекс камер с повышенной точностью стабилизации температур, а также специально разработанное программное обеспечение для гармоничного и эффективного взаимодействия разрозненных модулей.

Генеральный директор ЗНТЦ Анатолий Ковалев отметил, ключевой компонент разрабатываемого оборудования – высокоточный и мощный отечественный лазер. Согласно тендеру, дедлайн по указанным работам – ноябрь 2026 года.

«Несмотря на то, что технология 65 нм вышла на мировом рынке еще 15 лет назад, она до сих пор крайне востребована российскими компаниями в радиоэлектронном сегменте. Пусть она и не самая современная, зато очень ходовая среди множества периферийных микросхем и нынешних микроконтроллеров. Тем более, в случае реализации проекта, наш рынок минимизирует зависимость от импортного оборудования», – рассказал Иван Покровский, исполнительный директор Ассоциации разработчиков и производителей электроники.